半導體刻蝕氣六氟丁二烯
文章(zhang)來源：中(zhong)(zhong)國中(zhong)(zhong)化(hua)控股有限責任公司 發(fa)布(bu)時(shi)間：2024-05-20
218. 半導體刻蝕氣六氟丁二烯
【中(zhong)(zhong)央企業名稱】中(zhong)(zhong)國(guo)中(zhong)(zhong)化控股有限(xian)責任(ren)公司
【成果簡介】六氟丁二烯是一種新型的含氟綠色電子蝕刻氣，具有蝕刻速率快、高深寬比、高選擇性的優點，可以實現近乎垂直的蝕刻加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；同時六氟丁二烯環境友好，溫室效應潛值（GWP值）僅為290，大氣壽命1.9天，是當前唯一兼具優異蝕刻性能和環保性能的含氟電子蝕刻氣。
中國中化自主研發了一條以副產含氟烯烴為主要原料的新路線，率先突破六氟丁二烯合成、純化以及工程化技術瓶頸，建成國內首套具有自主知識產權的200噸/年裝置，是國內首家實現六氟丁二烯工業化生產的企業，填補了國內高端含氟電子氣體生產的空白，為我國高端集成電子組件自主研發、制造提供了關鍵原料氣保障。同時電子級產品純度可以達到99.99%以上，遠高于國內外99.9%的行業水平。
【主要指標】
1. 電子級產品純度：99.99%
2. 純度工業級產品：99.8%
【應用推廣需求】
1. 應用推廣方式：銷售
2. 應用推廣領域：電子材料領域作為蝕刻氣體，用于大規模集成電子組件、3D NAND閃存制造工業制品等。
圖1
圖2
圖3
【聯系人】
集團聯系人：朱丹，010-59569640，zhudan5@sinochem.com
成果聯系人：徐凌峰，18157189953，xulingfeng@sinochem.com
【責任編(bian)輯：俞昭君】
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