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成果93：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術

【所屬領域】關(guan)鍵零部件

【中央企業名稱(cheng)】中國通(tong)用技術（集(ji)團）控股有限責任公司

【成果簡介 】

本(ben)成(cheng)果面向超精(jing)密加工(gong)技(ji)術(shu)與裝(zhuang)備(bei)需求，對(dui)兩類超精(jing)密關鍵功能(neng)部(bu)件技(ji)術(shu)產品展開攻堅。開展了多孔質節(jie)流(liu)雙半球氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓軸(zhou)承設計(ji)、制(zhi)(zhi)造及(ji)裝(zhuang)配(pei)工(gong)藝技(ji)術(shu)研究(jiu)，掌(zhang)握(wo)了超精(jing)密氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓主(zhu)軸(zhou)伺服控制(zhi)(zhi)技(ji)術(shu)。發(fa)明(ming)了一種(zhong)全約束式超精(jing)密液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)軌(gui)單元(yuan)結構，突(tu)破了雙膜片節(jie)流(liu)型靜(jing)(jing)壓滑塊設計(ji)技(ji)術(shu)，掌(zhang)握(wo)了液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)軌(gui)裝(zhuang)配(pei)工(gong)藝和(he)(he)伺服控制(zhi)(zhi)技(ji)術(shu)。本(ben)成(cheng)果技(ji)術(shu)難度(du)(du)大、創新(xin)性強(qiang)，自主(zhu)研制(zhi)(zhi)的超精(jing)密氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓主(zhu)軸(zhou)和(he)(he)液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)軌(gui)總體(ti)(ti)上達到國際先進水平，其(qi)中(zhong)液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)軌(gui)全行程直(zhi)線度(du)(du)指標達到國際領(ling)先水平。

【主要指標】

（一）主(zhu)軸回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速(su)：≥3000r/min

（三）導(dao)軌直線度(du)：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一(yi)）應用推廣方(fang)式：銷售、轉讓、合(he)作實(shi)施、其他

（二）應(ying)用推廣領域：航(hang)空航(hang)天、光學、半導體、消費電子等領域中精密光學元件(jian)、復雜結(jie)構件(jian)的超精密生(sheng)產制造與檢測。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：孫慕瑤(yao)，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯系人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】