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成果93：超精密導軌及空(kong)氣靜壓軸承技(ji)術

【所屬領(ling)域(yu)】關鍵零部件

【中(zhong)央企業名稱(cheng)】中(zhong)國通用技(ji)術（集(ji)團）控股有限責(ze)任公司(si)

【成果簡介 】

本成(cheng)果面向超(chao)(chao)精(jing)密(mi)(mi)加(jia)工技(ji)(ji)術(shu)(shu)與裝備需求，對兩類超(chao)(chao)精(jing)密(mi)(mi)關(guan)鍵功能部件技(ji)(ji)術(shu)(shu)產品展(zhan)開攻堅(jian)。開展(zhan)了(le)(le)多孔質節(jie)流雙半(ban)球氣(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)軸(zhou)承設計、制(zhi)(zhi)造(zao)及裝配工藝(yi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)研(yan)究，掌(zhang)握了(le)(le)超(chao)(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)主軸(zhou)伺(si)服控制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)。發(fa)明(ming)了(le)(le)一種(zhong)全(quan)(quan)約束式超(chao)(chao)精(jing)密(mi)(mi)液(ye)(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌(gui)單(dan)元結構，突破了(le)(le)雙膜片節(jie)流型靜壓(ya)(ya)(ya)滑塊設計技(ji)(ji)術(shu)(shu)，掌(zhang)握了(le)(le)液(ye)(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌(gui)裝配工藝(yi)和伺(si)服控制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)。本成(cheng)果技(ji)(ji)術(shu)(shu)難度(du)大、創新性強，自主研(yan)制(zhi)(zhi)的超(chao)(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)主軸(zhou)和液(ye)(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌(gui)總體(ti)(ti)上達到國(guo)際先進(jin)水平(ping)，其中液(ye)(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌(gui)全(quan)(quan)行程直線度(du)指標達到國(guo)際領先水平(ping)。

【主要指標】

（一(yi)）主軸回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣方式：銷售、轉讓(rang)、合作實施、其(qi)他(ta)

（二）應用推(tui)廣領域(yu)(yu)：航空航天、光(guang)學、半(ban)導體、消費電子等領域(yu)(yu)中精(jing)密光(guang)學元件、復(fu)雜(za)結構件的超(chao)精(jing)密生產制造與檢測。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系(xi)人(ren)：孫慕瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果(guo)聯系人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】