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薄膜壓力傳感器

文章來源:中國電子科(ke)技集團有限公司  發布時間:2024-05-20

39.薄(bo)膜壓(ya)力傳感器

【所屬領(ling)域】核心電(dian)子元器件

【中(zhong)(zhong)央企業名稱】中(zhong)(zhong)國電子科技集團有限公司

【成果(guo)簡介】項目產品(pin)技術(shu)(shu)具(ju)有(you)(you)完(wan)全自(zi)有(you)(you)知(zhi)識產權,48所1986年創作(zuo)性提出采(cai)用(yong)離子束濺射(she)技術(shu)(shu)制造薄(bo)膜壓(ya)力傳(chuan)感器的技術(shu)(shu)路線,該路線與國外普遍采(cai)用(yong)的磁控濺射(she)比(bi)較,具(ju)有(you)(you)膜層(ceng)粘附(fu)力強,致密(mi)、均勻等(deng)(deng)(deng)特點(dian),是先(xian)進的薄(bo)膜制備(bei)工(gong)藝路線。薄(bo)膜壓(ya)力傳(chuan)感器廣(guang)泛應用(yong)于航(hang)空(kong)、航(hang)天、石(shi)油、船舶等(deng)(deng)(deng)領域(yu),具(ju)有(you)(you)高可靠、大(da)量(liang)程、耐惡劣環境等(deng)(deng)(deng)特點(dian)。如(ru):柴油發動機油軌(gui)壓(ya)力監測(ce)、高精度大(da)量(liang)程氣(qi)壓(ya)監測(ce)等(deng)(deng)(deng)。產品(pin)技術(shu)(shu)成熟度高,已(yi)經在包括飛船、商用(yong)衛星、導(dao)彈、火(huo)箭(jian)、飛機、航(hang)空(kong)發動機、戰(zhan)車、船舶等(deng)(deng)(deng)裝備(bei)中(zhong)得到廣(guang)泛應用(yong)。

【主要指標】

1.精度:≤0.2%FS

2.靈敏度(du):≥1.5mV/V

3.過載壓力:200%FS

4.熱零點漂移:≤0.01%FS

5.熱(re)靈敏(min)度漂移:≤0.015%FS

6.絕緣(yuan)強度:≥200MΩ/500V

【應用推廣需求】

1.應用推(tui)廣方式(shi):銷售

2.應用推廣領域:航空(kong)、石油、化工、鋼鐵、高鐵、船舶等。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人:丁一(yi)牧,010-84352395(13552993699),dingyimu@vip.163.com

成果聯系人:鄒書怡(yi),13591325115,zousy@cs48.com

【責任編輯:家正】

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