免费菠萝视频app下载

9.MEMS氣體傳感器

【所屬(shu)領(ling)域】核心電子元(yuan)器件(jian)

【中央企業(ye)名稱(cheng)】中國兵(bing)器工業(ye)集團有限(xian)公(gong)司

【成果簡介】MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)感(gan)器(qi)適(shi)用(yong)于(yu)室內(nei)空氣(qi)(qi)(qi)質量監(jian)測(ce)(ce)、手機、電(dian)(dian)(dian)腦等消費(fei)類(lei)電(dian)(dian)(dian)子產品(pin)應用(yong)檢測(ce)(ce)空氣(qi)(qi)(qi)質量；也適(shi)用(yong)于(yu)呼出氣(qi)(qi)(qi)體(ti)檢測(ce)(ce)儀、室內(nei)煙霧報警等。MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)感(gan)器(qi)利用(yong)MEMS工(gong)藝(yi)在(zai)硅基襯底上(shang)制作微熱(re)板(ban)，所使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)敏材料(liao)是(shi)在(zai)清潔空氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率較低的(de)(de)(de)金屬氧化(hua)(hua)物(wu)半(ban)導(dao)體(ti)材料(liao)。當(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi)所處存在(zai)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)環境(jing)中(zhong)時(shi)，傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率隨空氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)被(bei)檢測(ce)(ce)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)濃度而(er)發(fa)生(sheng)改變。該(gai)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)濃度越高，傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率就越高。使(shi)用(yong)簡單的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)路即可(ke)將(jiang)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率的(de)(de)(de)變化(hua)(hua)轉換(huan)為與該(gai)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)濃度相(xiang)對應的(de)(de)(de)輸出信(xin)號。本產品(pin)采用(yong)MEMS工(gong)藝(yi)，結構(gou)堅(jian)固(gu)，抗震性好；具有(you)尺寸小、功耗低、靈(ling)敏度高、響應恢復快、驅動電(dian)(dian)(dian)路簡單、穩定性好、壽命長等優點。技術成熟度9級。

【主要指標】

1.加(jia)熱電阻：88Ω±5Ω

2.加熱(re)功(gong)耗(hao)：≤50mW

3.敏感體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）

4.靈敏度(du)：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用(yong)推廣方式：銷售、轉讓(rang)

2.應(ying)用(yong)推(tui)廣(guang)領域：可在白電、消費(fei)電子、環境監(jian)測等行業應(ying)用(yong)推(tui)廣(guang)。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯(lian)系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯(lian)系人：朱震(zhen)星，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】