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9.MEMS氣體傳感器

【所屬領域】核心電(dian)子元(yuan)器件

【中央企(qi)業名稱】中國(guo)兵器工業集團(tuan)有限公司

【成果簡(jian)介】MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)感(gan)器(qi)適用(yong)于(yu)室(shi)內空氣(qi)(qi)(qi)質(zhi)量監(jian)測、手(shou)機、電(dian)腦等消費(fei)類(lei)電(dian)子產品應用(yong)檢測空氣(qi)(qi)(qi)質(zhi)量；也適用(yong)于(yu)呼出氣(qi)(qi)(qi)體(ti)檢測儀(yi)、室(shi)內煙霧(wu)報(bao)警等。MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)感(gan)器(qi)利用(yong)MEMS工藝(yi)在(zai)(zai)硅(gui)基襯底上制作微熱板(ban)，所(suo)使(shi)(shi)用(yong)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)敏材料(liao)(liao)是在(zai)(zai)清潔空氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)電(dian)導(dao)(dao)(dao)率(lv)較低的(de)(de)金屬(shu)氧(yang)化物(wu)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)材料(liao)(liao)。當傳(chuan)感(gan)器(qi)所(suo)處存在(zai)(zai)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)環境(jing)中(zhong)(zhong)時，傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)電(dian)導(dao)(dao)(dao)率(lv)隨(sui)空氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)被(bei)檢測氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)濃度(du)(du)而發生改(gai)變。該氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)濃度(du)(du)越高，傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)電(dian)導(dao)(dao)(dao)率(lv)就(jiu)越高。使(shi)(shi)用(yong)簡(jian)單的(de)(de)電(dian)路即可將電(dian)導(dao)(dao)(dao)率(lv)的(de)(de)變化轉換為與該氣(qi)(qi)(qi)體(ti)濃度(du)(du)相對應的(de)(de)輸出信號。本產品采用(yong)MEMS工藝(yi)，結構(gou)堅固，抗(kang)震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度(du)(du)高、響應恢(hui)復快(kuai)、驅動電(dian)路簡(jian)單、穩(wen)定性好、壽命長等優點。技術(shu)成熟度(du)(du)9級(ji)。

【主要指標】

1.加熱電(dian)阻：88Ω±5Ω

2.加(jia)熱功耗：≤50mW

3.敏感體(ti)表面(mian)電(dian)阻(zu)：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）

4.靈敏度：R0（空(kong)氣）/RS（50ppm乙醇(chun)）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用推廣方式：銷售(shou)、轉(zhuan)讓

2.應(ying)用推(tui)廣領域：可在(zai)白電、消(xiao)費電子、環(huan)境監測等行業應(ying)用推(tui)廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯系人：朱震星，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】