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5G射頻濾波芯片用高純鋁鈧合金靶材

文章來(lai)源：中(zhong)國有(you)研科(ke)技集團有(you)限(xian)公司　　發布時間：2024-05-20

239. 5G射頻濾波芯片用高純鋁鈧合金靶材

【所屬領域】關鍵材料

【中央企業名稱】中國有研科技集團有限公司

【成果簡介】芯片制備的核心材料為氮化鋁鈧壓電薄膜材料,亟需開展高純鋁鈧合金靶材研究，實現技術突破。高純鋁鈧合金靶材中鈧含量高、易氧化，合金脆性大、成型困難，濾波器芯片制作難度大、驗證困難，由有研億金牽頭，與有研稀土和中電26所聯合攻堅，突破了高純鈧原材料制備、鑄錠熔煉、組織/密度控制及高性能焊接等技術，實現了不同鈧含量鋁鈧系列合金靶材開發，成功應用于高端濾波器件，有力地保障了我國高端濾波芯片產業鏈和供應鏈安全。技術成熟度達到8級。

【主要指標】

1. 鈧含量：≥10at%

2. 靶材純度：≥99.99%

3. 氧含量：≤200ppm

4. 相對密度：≥99%

5. 靶材直徑：≥φ300mm

【應用推廣需求】

1. 應用推廣方式：銷售

2. 應用推廣領域：5G射頻濾波芯片

【成果圖片】