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成果93：超(chao)精密導軌(gui)及空氣靜壓(ya)軸(zhou)承技術

【所屬領域】關(guan)鍵零部(bu)件

【中(zhong)央企業名稱】中(zhong)國通用技術（集團）控股有限責任(ren)公(gong)司

【成果簡介 】

本成(cheng)果(guo)面向超(chao)精(jing)密(mi)(mi)加(jia)工(gong)(gong)技術(shu)與裝備需求，對兩類超(chao)精(jing)密(mi)(mi)關鍵(jian)功(gong)能(neng)部件技術(shu)產(chan)品展開攻(gong)堅(jian)。開展了(le)(le)(le)(le)多孔質節(jie)流(liu)雙(shuang)半球氣(qi)(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)軸承設計、制(zhi)造及(ji)裝配(pei)工(gong)(gong)藝技術(shu)研究(jiu)，掌握了(le)(le)(le)(le)超(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)主軸伺(si)服控制(zhi)技術(shu)。發明了(le)(le)(le)(le)一種全約束(shu)式超(chao)精(jing)密(mi)(mi)液(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)導(dao)軌(gui)單元結構，突破了(le)(le)(le)(le)雙(shuang)膜片節(jie)流(liu)型靜壓(ya)(ya)滑塊設計技術(shu)，掌握了(le)(le)(le)(le)液(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)導(dao)軌(gui)裝配(pei)工(gong)(gong)藝和伺(si)服控制(zhi)技術(shu)。本成(cheng)果(guo)技術(shu)難(nan)度(du)大、創(chuang)新性強，自主研制(zhi)的超(chao)精(jing)密(mi)(mi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)主軸和液(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)導(dao)軌(gui)總(zong)體(ti)(ti)上達到(dao)國際先進(jin)水平，其中液(ye)(ye)體(ti)(ti)靜壓(ya)(ya)導(dao)軌(gui)全行程(cheng)直線度(du)指(zhi)標達到(dao)國際領先水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉精度(du)：≤25nm

（二）主(zhu)軸(zhou)轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度(du)：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一(yi)）應用(yong)推廣方(fang)式：銷售、轉(zhuan)讓、合(he)作實施、其他

（二）應用推廣領域(yu)(yu)：航空航天、光學、半導(dao)體、消費電子等(deng)領域(yu)(yu)中精密光學元(yuan)件、復雜結構(gou)件的超精密生產制造(zao)與檢測(ce)。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：孫慕瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯(lian)系(xi)人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】