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成果93：超精密導軌及空(kong)氣靜壓軸承技(ji)術(shu)

【所屬(shu)領域】關鍵(jian)零部件

【中央企(qi)業(ye)名稱】中國通(tong)用技(ji)術（集團）控股(gu)有限責任(ren)公司

【成果簡介 】

本成果(guo)面向超(chao)(chao)(chao)精密(mi)(mi)加(jia)工技(ji)術(shu)(shu)與(yu)裝備需求(qiu)，對(dui)兩類超(chao)(chao)(chao)精密(mi)(mi)關鍵功能部(bu)件(jian)技(ji)術(shu)(shu)產品展開攻堅。開展了(le)多孔(kong)質(zhi)節(jie)(jie)流雙(shuang)半球氣體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)軸(zhou)(zhou)承設計、制造及裝配工藝(yi)(yi)技(ji)術(shu)(shu)研(yan)究，掌(zhang)握了(le)超(chao)(chao)(chao)精密(mi)(mi)氣體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)主軸(zhou)(zhou)伺服(fu)控制技(ji)術(shu)(shu)。發明了(le)一種全約(yue)束式超(chao)(chao)(chao)精密(mi)(mi)液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌單元結構，突破了(le)雙(shuang)膜片節(jie)(jie)流型(xing)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)滑塊設計技(ji)術(shu)(shu)，掌(zhang)握了(le)液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌裝配工藝(yi)(yi)和(he)伺服(fu)控制技(ji)術(shu)(shu)。本成果(guo)技(ji)術(shu)(shu)難度(du)大、創新性強(qiang)，自主研(yan)制的超(chao)(chao)(chao)精密(mi)(mi)氣體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)主軸(zhou)(zhou)和(he)液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌總體(ti)(ti)(ti)上達到國際先進水平，其中液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導(dao)軌全行程直線度(du)指標達到國際領(ling)先水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉精(jing)度(du)：≤25nm

（二）主軸(zhou)轉(zhuan)速：≥3000r/min

（三）導(dao)軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一(yi)）應用推(tui)廣方式(shi)：銷(xiao)售、轉(zhuan)讓、合作(zuo)實(shi)施、其他

（二）應用推廣領(ling)域(yu)：航空(kong)航天(tian)、光(guang)學、半導體、消費電子等領(ling)域(yu)中精密光(guang)學元件(jian)、復雜結構件(jian)的超精密生產制造(zao)與檢測(ce)。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：孫(sun)慕瑤(yao)，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果(guo)聯(lian)系人(ren)：吳(wu)東(dong)旭(xu)，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】