薄膜壓力傳感器
文章來源：中國電(dian)子科技集團有限公司 發布時(shi)間：2024-05-20
39.薄(bo)膜壓力傳感器
【所屬領域】核心(xin)電子元器件
【中央企業名稱】中國電子科技集團有(you)限公司(si)
【成(cheng)果簡介】項目產品(pin)技術(shu)具(ju)(ju)有(you)完全自有(you)知(zhi)識產權，48所1986年創作(zuo)性提出采用(yong)離子束濺射技術(shu)制(zhi)造薄膜壓力傳(chuan)感器的(de)技術(shu)路線，該路線與(yu)國外普遍(bian)采用(yong)的(de)磁控濺射比較，具(ju)(ju)有(you)膜層粘附(fu)力強，致密、均(jun)勻等(deng)特(te)點，是先進的(de)薄膜制(zhi)備工藝路線。薄膜壓力傳(chuan)感器廣泛應用(yong)于航空、航天、石油、船(chuan)舶(bo)等(deng)領域，具(ju)(ju)有(you)高可靠(kao)、大(da)(da)量程、耐(nai)惡劣環境等(deng)特(te)點。如：柴油發(fa)動機(ji)油軌壓力監測、高精度大(da)(da)量程氣壓監測等(deng)。產品(pin)技術(shu)成(cheng)熟度高，已經在包括飛(fei)(fei)船(chuan)、商用(yong)衛(wei)星、導彈、火箭、飛(fei)(fei)機(ji)、航空發(fa)動機(ji)、戰車、船(chuan)舶(bo)等(deng)裝(zhuang)備中得(de)到廣泛應用(yong)。
【主要指標】
1.精度(du)：≤0.2%FS
2.靈敏(min)度(du)：≥1.5mV/V
3.過載(zai)壓力：200%FS
4.熱零點漂移(yi)：≤0.01%FS
5.熱靈敏度(du)漂移：≤0.015%FS
6.絕緣強度：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應用推廣(guang)方式：銷售
2.應用推廣領域：航空、石(shi)油、化工、鋼(gang)鐵(tie)、高鐵(tie)、船舶等。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人：丁一牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成果聯(lian)系人：鄒書怡，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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