薄膜壓力傳感器
文章來源：中國電子科技集團有限(xian)公司(si) 發布時間(jian)：2024-05-20
39.薄膜壓力傳(chuan)感器
【所屬領域】核心(xin)電子元(yuan)器件
【中央企業(ye)名稱】中國電子科(ke)技(ji)集團有(you)限公司
【成果簡介】項(xiang)目產品(pin)(pin)技(ji)術(shu)(shu)具(ju)有完全自有知識產權，48所1986年(nian)創作性(xing)提(ti)出采用(yong)(yong)離子束濺(jian)射技(ji)術(shu)(shu)制(zhi)造(zao)薄(bo)膜壓力(li)傳(chuan)感器(qi)的技(ji)術(shu)(shu)路線(xian)，該路線(xian)與國外普遍采用(yong)(yong)的磁控濺(jian)射比較，具(ju)有膜層(ceng)粘附力(li)強(qiang)，致(zhi)密、均勻等(deng)特點(dian)，是先(xian)進的薄(bo)膜制(zhi)備工藝路線(xian)。薄(bo)膜壓力(li)傳(chuan)感器(qi)廣泛(fan)應用(yong)(yong)于航空、航天、石油、船(chuan)舶等(deng)領(ling)域(yu)，具(ju)有高可靠、大量程、耐惡劣環(huan)境等(deng)特點(dian)。如：柴油發動(dong)機油軌壓力(li)監(jian)測、高精度大量程氣壓監(jian)測等(deng)。產品(pin)(pin)技(ji)術(shu)(shu)成熟度高，已經(jing)在包括飛(fei)船(chuan)、商用(yong)(yong)衛星、導彈(dan)、火(huo)箭、飛(fei)機、航空發動(dong)機、戰車、船(chuan)舶等(deng)裝(zhuang)備中得到廣泛(fan)應用(yong)(yong)。
【主要指標】
1.精度：≤0.2%FS
2.靈敏度：≥1.5mV/V
3.過載壓力：200%FS
4.熱零(ling)點漂移(yi)：≤0.01%FS
5.熱靈(ling)敏度漂移：≤0.015%FS
6.絕緣強(qiang)度(du)：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應(ying)用推(tui)廣(guang)方(fang)式：銷售(shou)
2.應用(yong)推廣(guang)領域：航空(kong)、石油、化工、鋼鐵、高鐵、船舶(bo)等。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人(ren)：丁一牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成果聯系(xi)人：鄒書(shu)怡，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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