MEMS氣體傳感器
文章來源：中國兵器工業集團(tuan)有(you)限公司 發布時間(jian)：2024-05-20
9.MEMS氣(qi)體傳感器(qi)
【所屬領域】核(he)心電(dian)子元器件
【中(zhong)央企業名稱】中(zhong)國兵(bing)器工(gong)業集團有限公司
【成果簡(jian)介】MEMS氣(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)(chuan)感(gan)器適用于室內(nei)空(kong)氣(qi)(qi)質量(liang)監測、手機(ji)、電(dian)(dian)腦(nao)等消費類電(dian)(dian)子產(chan)品(pin)應(ying)用檢(jian)測空(kong)氣(qi)(qi)質量(liang)；也適用于呼出氣(qi)(qi)體(ti)檢(jian)測儀、室內(nei)煙霧(wu)報警等。MEMS氣(qi)(qi)體(ti)傳(chuan)(chuan)感(gan)器利用MEMS工藝(yi)在(zai)硅基襯底(di)上制作微熱板，所(suo)使用的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)敏(min)材(cai)料(liao)是在(zai)清潔空(kong)氣(qi)(qi)中電(dian)(dian)導(dao)(dao)率(lv)較低(di)的(de)(de)(de)金屬(shu)氧化物半導(dao)(dao)體(ti)材(cai)料(liao)。當(dang)傳(chuan)(chuan)感(gan)器所(suo)處存在(zai)氣(qi)(qi)體(ti)環(huan)境中時，傳(chuan)(chuan)感(gan)器的(de)(de)(de)電(dian)(dian)導(dao)(dao)率(lv)隨空(kong)氣(qi)(qi)中被檢(jian)測氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)濃(nong)度(du)而發生(sheng)改變(bian)。該(gai)氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)濃(nong)度(du)越(yue)高，傳(chuan)(chuan)感(gan)器的(de)(de)(de)電(dian)(dian)導(dao)(dao)率(lv)就越(yue)高。使用簡(jian)單的(de)(de)(de)電(dian)(dian)路即可將電(dian)(dian)導(dao)(dao)率(lv)的(de)(de)(de)變(bian)化轉換為與該(gai)氣(qi)(qi)體(ti)濃(nong)度(du)相對(dui)應(ying)的(de)(de)(de)輸出信(xin)號。本產(chan)品(pin)采用MEMS工藝(yi)，結構堅固，抗震(zhen)性好(hao)；具(ju)有尺寸小、功耗低(di)、靈(ling)敏(min)度(du)高、響應(ying)恢復快(kuai)、驅動電(dian)(dian)路簡(jian)單、穩(wen)定(ding)性好(hao)、壽命長等優點。技術成熟度(du)9級。
【主要指標】
1.加熱電阻：88Ω±5Ω
2.加熱(re)功耗：≤50mW
3.敏感體表面(mian)電(dian)阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）
4.靈敏度：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0
【應用推廣需求】
1.應用推廣方式：銷售、轉讓
2.應用(yong)推廣領域(yu)：可在(zai)白電(dian)、消費(fei)電(dian)子(zi)、環境(jing)監(jian)測(ce)等行業應用(yong)推廣。
【成果圖片】
【聯系人】
集團(tuan)聯系(xi)人(ren)：左(zuo)睿(rui)，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成(cheng)果聯系(xi)人(ren)：朱震(zhen)星，18662470410，xing_1018@126.com
【責任編輯：家正】
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