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9.MEMS氣體傳感器

【所(suo)屬(shu)領域】核心(xin)電子(zi)元器件

【中(zhong)央企業名稱】中(zhong)國(guo)兵器工業集團(tuan)有限公(gong)司

【成(cheng)果簡介(jie)】MEMS氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)傳感(gan)(gan)器(qi)適(shi)用(yong)于室內空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)質(zhi)量監測(ce)、手機、電(dian)(dian)腦等(deng)(deng)消(xiao)費類電(dian)(dian)子產(chan)品(pin)應用(yong)檢測(ce)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)質(zhi)量；也適(shi)用(yong)于呼出氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)檢測(ce)儀、室內煙霧報警等(deng)(deng)。MEMS氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)傳感(gan)(gan)器(qi)利用(yong)MEMS工藝在硅基襯底上制作微熱板，所(suo)使用(yong)的(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)敏材(cai)料(liao)是(shi)在清(qing)潔(jie)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)電(dian)(dian)導(dao)率較低的(de)金屬氧(yang)化(hua)物半導(dao)體(ti)(ti)(ti)材(cai)料(liao)。當(dang)傳感(gan)(gan)器(qi)所(suo)處存在氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)環境中(zhong)時，傳感(gan)(gan)器(qi)的(de)電(dian)(dian)導(dao)率隨空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)被檢測(ce)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)濃(nong)度而發(fa)生改變(bian)。該(gai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)濃(nong)度越(yue)高，傳感(gan)(gan)器(qi)的(de)電(dian)(dian)導(dao)率就越(yue)高。使用(yong)簡單的(de)電(dian)(dian)路即可將(jiang)電(dian)(dian)導(dao)率的(de)變(bian)化(hua)轉換(huan)為與該(gai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)濃(nong)度相對應的(de)輸出信號(hao)。本產(chan)品(pin)采用(yong)MEMS工藝，結構堅固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復(fu)快、驅動電(dian)(dian)路簡單、穩定(ding)性好、壽命(ming)長等(deng)(deng)優點。技術成(cheng)熟度9級。

【主要指標】

1.加熱電阻(zu)：88Ω±5Ω

2.加熱功耗：≤50mW

3.敏感體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇(chun)）

4.靈(ling)敏度：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用推廣方式：銷(xiao)售、轉讓

2.應用推廣領域：可在白電(dian)、消費電(dian)子(zi)、環境監測等行(xing)業應用推廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯(lian)系人(ren)：左睿(rui)，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成(cheng)果聯(lian)系人(ren)：朱震星(xing)，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】