200mm硅片產品
文(wen)章來(lai)源：有(you)研科技集團有(you)限(xian)公(gong)司 發(fa)布時間：2022-05-19
88．200mm硅片產品
【所屬領域】關鍵材料
【中央企業名稱】有研科技集團有限公司
【技術產品簡介】200mm硅單晶拋光片是制造集成電路的核心基礎材料。200mm重摻硅片是功率半導體器件的重要材料，其電阻率在毫歐姆厘米級別，可有效降低阻抗，公司產品被列為國家自主創新產品。Φ200mm輕摻拋光片是物聯網、工業自動化、汽車領域輔助駕駛、電動汽車、電氣設備等相關的嵌入式存儲器、模擬電路（Analog）、圖像傳感器（CIS）、MCU（微控制單元）等制備所需核心關鍵材料，公司產品被列為2017年度中國半導體創新產品和技術。
【產品圖片】
圖1
圖2
圖3
【與國外同類技術產品對比情況】
技術對比情況：相當
價格對比情況：相當
國外技術產品廠家及名稱：日本信越 8英寸硅片產品
【技術指標】
1．電阻率：1~100Ωcm
2．氧含量：8~16（ASTM83）
3．TTV—總厚度變化：<=5um
4．Bow—彎曲度：<=30um
5．Warp—翹曲度：<=30um
【責任編(bian)輯：王(wang)占朝(chao)】
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