文章來(lai)源：有研科技集團有限公司 發布時間：2022-01-12
摘要：有(you)研(yan)半導體(ti)(ti)材(cai)(cai)料有(you)限(xian)公司（簡(jian)稱“有(you)研(yan)半導體(ti)(ti)”）是我國最(zui)早從事(shi)半導體(ti)(ti)硅材(cai)(cai)料研(yan)發(fa)及產業(ye)化的(de)單位，擁有(you)業(ye)內最(zui)齊全(quan)的(de)半導體(ti)(ti)硅材(cai)(cai)料產品(pin)。
作為國(guo)內唯一一家(jia)(jia)從事半(ban)導體硅材(cai)料研發、生產和銷售的央(yang)企單位，有研半(ban)導體始終(zhong)以服務國(guo)家(jia)(jia)、服務社(she)會為大局，積(ji)極響應國(guo)家(jia)(jia)戰(zhan)略需求，為支撐和推動我(wo)國(guo)集成(cheng)電路產業的發展做出了突出貢獻。
關鍵詞：大尺寸硅片 半導體(ti) 集成電路
背景PART 01
半(ban)導體(ti)(ti)材料(liao)作為(wei)集(ji)(ji)成(cheng)電路產(chan)業(ye)中最(zui)為(wei)重(zhong)要的關鍵性原材料(liao)，是(shi)信息(xi)安全保障的重(zhong)要環節，與國(guo)(guo)家利益密切相(xiang)關。硅(gui)片作為(wei)最(zui)主要的半(ban)導體(ti)(ti)材料(liao)，伴隨我(wo)國(guo)(guo)5G通訊、人(ren)工智能、大(da)(da)數據、自(zi)動駕駛、物聯網、工業(ye)自(zi)動化等新興(xing)產(chan)業(ye)的發展，需求(qiu)量(liang)快速增(zeng)長(chang)。但在高端集(ji)(ji)成(cheng)電路用硅(gui)片領域(yu)，長(chang)期被國(guo)(guo)外企業(ye)壟斷，是(shi)制(zhi)約我(wo)們集(ji)(ji)成(cheng)電路產(chan)業(ye)發展的“卡(ka)脖子”問(wen)題。有研半(ban)導體(ti)(ti)積極(ji)響應國(guo)(guo)家戰(zhan)略需求(qiu)，承擔央(yang)企使命，加大(da)(da)力度創新研發，多方(fang)位產(chan)業(ye)布局，助力我(wo)國(guo)(guo)集(ji)(ji)成(cheng)電路產(chan)業(ye)的發展。
責任行動PART 02
（一）人才培養打基礎
有(you)研半導體堅持實施創(chuang)新驅動戰略，把(ba)人(ren)(ren)才培養作為推動企業發(fa)展(zhan)源(yuan)動力(li)。建(jian)(jian)立由總經理主管(guan)、人(ren)(ren)力(li)資(zi)源(yuan)部(bu)門(men)牽頭、各(ge)部(bu)門(men)領導主抓的(de)負責機制，按(an)照“人(ren)(ren)盡其才，才盡其用(yong)(yong)”的(de)工作原則(ze)，建(jian)(jian)立一套適合公司(si)發(fa)展(zhan)需求的(de)人(ren)(ren)才培養、選拔(ba)和使用(yong)(yong)的(de)管(guan)理制度。
大力(li)選(xuan)拔年輕優秀的(de)(de)專(zhuan)(zhuan)業(ye)(ye)人(ren)(ren)(ren)員作為(wei)技(ji)(ji)(ji)術(shu)領軍人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)，在(zai)(zai)資金、設備(bei)、機制方(fang)面給予充分(fen)保障(zhang)，為(wei)其(qi)創(chuang)造輕松安(an)心(xin)的(de)(de)科研環境，并不定(ding)期(qi)組(zu)織(zhi)去國(guo)外開展技(ji)(ji)(ji)術(shu)交流(liu)，接觸領域內最前(qian)沿(yan)技(ji)(ji)(ji)術(shu)，使(shi)其(qi)快(kuai)速成長，目前(qian)公(gong)(gong)司(si)各(ge)研發團隊(dui)負責(ze)人(ren)(ren)(ren)平均年齡(ling)不超過38歲。在(zai)(zai)培養(yang)(yang)技(ji)(ji)(ji)術(shu)領軍人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)同(tong)時(shi)，公(gong)(gong)司(si)也把對(dui)注重(zhong)加(jia)強對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養(yang)(yang)，從企業(ye)(ye)戰略高度，把對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養(yang)(yang)納入到企業(ye)(ye)人(ren)(ren)(ren)力(li)資源總(zong)規劃中。不斷加(jia)大對(dui)高技(ji)(ji)(ji)能人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養(yang)(yang)力(li)度，建立行之有效(xiao)的(de)(de)激(ji)勵(li)政策，使(shi)技(ji)(ji)(ji)能人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)在(zai)(zai)薪酬、職稱評定(ding)、職務晉(jin)升等方(fang)面和(he)專(zhuan)(zhuan)業(ye)(ye)人(ren)(ren)(ren)才(cai)(cai)享(xiang)有同(tong)等權利。
目前公(gong)司(si)不僅擁有順(shun)義區(qu)“梧桐工(gong)程”臨空經濟高(gao)端人才、突出貢獻(xian)中青年專家、享受政府特殊(shu)貼(tie)等各(ge)類高(gao)級人才，更(geng)培養了各(ge)類高(gao)級技能人員300余(yu)人，為公(gong)司(si)可持續發(fa)展打下(xia)堅(jian)實的人才基礎(chu)。
（二）科技創新強合作
集(ji)成電(dian)路產業(ye)(ye)作為技術(shu)密集(ji)型的高科(ke)(ke)技行(xing)業(ye)(ye)，伴隨經濟全球化的深入與(yu)發展(zhan)(zhan)，科(ke)(ke)技合作趨(qu)勢(shi)日益加強。有研半導體緊密對接企業(ye)(ye)需求(qiu)，與(yu)國內外相關單位加強科(ke)(ke)技合作，開(kai)展(zhan)(zhan)聯合攻關，對企業(ye)(ye)科(ke)(ke)技發展(zhan)(zhan)、創(chuang)新人(ren)才培養、科(ke)(ke)技實力提升、產業(ye)(ye)升級等起到(dao)了(le)積(ji)極(ji)的促進作用。
有研半導體研發(fa)團隊與(yu)(yu)大連理(li)工大學等(deng)單位開(kai)展的(de)“大尺寸硅片超精密(mi)磨削(xue)技(ji)術(shu)與(yu)(yu)裝備”項目(mu)，經過多年(nian)的(de)聯合攻關，取得重大突破，成果整體達到國(guo)際先進水平。利用(yong)該成果制造的(de)硅片已供應于中芯國(guo)際集成電路制造（北京）有限公(gong)司等(deng)用(yong)戶，為(wei)“中國(guo)芯”制造提供了有力支撐。該項目(mu)榮獲2019年(nian)國(guo)家技(ji)術(shu)發(fa)明(ming)二等(deng)獎。
有(you)研(yan)(yan)半(ban)導體與日本(ben)RST公(gong)司(si)簽(qian)訂(ding)戰(zhan)略(lve)協議(yi)，雙方在技術(shu)交流和人(ren)(ren)才培(pei)養(yang)等方面不斷加(jia)強合作。日本(ben)RST公(gong)司(si)是全(quan)球最(zui)大的再生硅(gui)片(pian)制造商，擁有(you)雄厚的硅(gui)材料研(yan)(yan)發能力和高(gao)水平研(yan)(yan)發人(ren)(ren)才。合作兩年來，有(you)研(yan)(yan)半(ban)導體累(lei)計派(pai)出19名中(zhong)高(gao)層管(guan)理人(ren)(ren)員和4名工程技術(shu)人(ren)(ren)員前(qian)往日本(ben)進行學習交流，并在海外(wai)合作設立培(pei)養(yang)基地，啟動了“優秀工程師海外(wai)培(pei)養(yang)計劃”，簽(qian)訂(ding)長期的培(pei)訓協議(yi)。
通過國(guo)際合作(zuo)，有研半導體建(jian)立了海外(wai)高層(ceng)(ceng)次(ci)人才(cai)和(he)工程技術人才(cai)培養計劃，吸引招納海外(wai)高層(ceng)(ceng)次(ci)人才(cai)7名。同時為應對國(guo)際化(hua)需求，針對不同領(ling)域(yu)邀請相(xiang)關外(wai)籍專家(jia)對技術人員(yuan)進(jin)行專項培訓，進(jin)一步拓(tuo)寬專業領(ling)域(yu)國(guo)際視野，國(guo)內(nei)技術研發人員(yuan)水平得以快速提(ti)升。
（三）戰略布局促發展
伴(ban)隨(sui)5G通訊、人工智能(neng)(neng)、大數據等新興(xing)產(chan)業的崛起，12英(ying)寸硅片成為(wei)國(guo)(guo)際主流半導體材料。當(dang)前，國(guo)(guo)內12英(ying)寸硅片產(chan)能(neng)(neng)遠遠不能(neng)(neng)滿(man)足國(guo)(guo)內市場需求，缺口巨大，基本依(yi)賴進口，國(guo)(guo)家信(xin)息和產(chan)業安全不能(neng)(neng)得到保障，12英(ying)寸硅片國(guo)(guo)產(chan)化問題迫在眉睫(jie)。
12英(ying)寸(cun)硅(gui)片(pian)產(chan)業(ye)資金門(men)檻(jian)、技術門(men)檻(jian)、市(shi)場門(men)檻(jian)、團隊等都要求高，風險也(ye)較大。作為國內最早開展12英(ying)寸(cun)研發(fa)(fa)和產(chan)業(ye)化的國家(jia)隊，有研半導體一直將(jiang)12英(ying)寸(cun)硅(gui)片(pian)這項國家(jia)戰略難題當(dang)成自(zi)身的使命，并將(jiang)其(qi)與(yu)公司未來發(fa)(fa)展緊密結合(he)在一起。
有研半導體通過多年的(de)技(ji)術(shu)研發(fa)，成(cheng)功拉制國內(nei)(nei)第1根12英(ying)寸(cun)硅(gui)單晶(jing)(jing)，在(zai)國內(nei)(nei)率(lv)先了(le)(le)(le)(le)(le)完成(cheng)55nm水平的(de)12英(ying)寸(cun)硅(gui)片(pian)技(ji)術(shu)攻關(guan)，突破了(le)(le)(le)(le)(le)12英(ying)寸(cun)硅(gui)單晶(jing)(jing)生長(chang)、硅(gui)片(pian)精(jing)密(mi)加工(gong)、硅(gui)片(pian)外延等(deng)關(guan)鍵技(ji)術(shu)，解決了(le)(le)(le)(le)(le)單晶(jing)(jing)缺陷、體鐵濃度(du)、硅(gui)片(pian)表(biao)面金屬污染(ran)、硅(gui)片(pian)表(biao)面平整度(du)等(deng)技(ji)術(shu)難題。形成(cheng)了(le)(le)(le)(le)(le)具有自(zi)主知(zhi)識產(chan)權的(de)技(ji)術(shu)布(bu)局，在(zai)硅(gui)材料領域已經建(jian)立200余項(xiang)(xiang)專(zhuan)利和40余項(xiang)(xiang)標(biao)準，其(qi)中12英(ying)寸(cun)硅(gui)片(pian)有70余項(xiang)(xiang)專(zhuan)利支(zhi)撐。建(jian)立了(le)(le)(le)(le)(le)國內(nei)(nei)第一條12英(ying)寸(cun)硅(gui)片(pian)生產(chan)線(xian)，并保持中試線(xian)連續運轉，保證每年10萬片(pian)的(de)產(chan)出，產(chan)品通過了(le)(le)(le)(le)(le)客戶認(ren)證，為未來的(de)產(chan)業化(hua)奠(dian)定了(le)(le)(le)(le)(le)堅實(shi)的(de)基礎。
履責成效PART 03
近(jin)年(nian)來(lai)，有研半導體始終把解決(jue)國(guo)家集成(cheng)電路(lu)產業(ye)(ye)發展所需的關鍵半導體硅材(cai)料作為(wei)企(qi)業(ye)(ye)規劃布(bu)局的主要方(fang)向，并(bing)取得了一(yi)系列成(cheng)效。
（一）產業化建設方面
在山東德(de)州(zhou)布局的(de)“8英寸硅(gui)(gui)片(pian)(pian)項目”已于2019年(nian)3月開工建設，2020年(nian)9月實(shi)現規(gui)模化(hua)生(sheng)產，全力保障(zhang)我國集成電路用8英寸硅(gui)(gui)片(pian)(pian)的(de)需求。作為(wei)戰略(lve)布局的(de)12英寸硅(gui)(gui)片(pian)(pian)項目，經過多次協商，有研集團、日本RST公司和山東德(de)州(zhou)市政府達(da)成戰略(lve)合作協議，在山東德(de)州(zhou)8英寸項目的(de)基礎(chu)上共同推進12英寸硅(gui)(gui)片(pian)(pian)國產化(hua)，項目已完成籌備(bei)，進入(ru)建設階段(duan)。
有研半(ban)導體(ti)8英寸(cun)和12英寸(cun)硅片項目對完善我(wo)(wo)國(guo)(guo)硅材(cai)料產(chan)(chan)業(ye)(ye)布局具有重要(yao)的(de)(de)(de)戰略意(yi)義，標志著我(wo)(wo)國(guo)(guo)半(ban)導體(ti)硅片產(chan)(chan)業(ye)(ye)整體(ti)技術水平邁上(shang)了一(yi)個(ge)新臺階。兩個(ge)項目的(de)(de)(de)建設不僅擺脫大尺(chi)寸(cun)硅片長期依賴進口(kou)的(de)(de)(de)局面，緩解了國(guo)(guo)內(nei)大尺(chi)寸(cun)硅片供給(gei)側的(de)(de)(de)壓力，更將帶動我(wo)(wo)國(guo)(guo)多晶硅材(cai)料、石(shi)英、特殊氣體(ti)、電子化學品、設備(bei)、芯片制造等上(shang)下(xia)游產(chan)(chan)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)發展(zhan)(zhan)，是對我(wo)(wo)國(guo)(guo)集成電路(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)鏈的(de)(de)(de)有力補充，給(gei)我(wo)(wo)國(guo)(guo)集成電路(lu)產(chan)(chan)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)發展(zhan)(zhan)注入一(yi)針“強心劑”。
同(tong)時，借助日本RST公(gong)司的國(guo)(guo)際(ji)背景，打入全(quan)球(qiu)集成電路產(chan)業(ye)供應鏈中，參與國(guo)(guo)際(ji)競爭，全(quan)力打造大尺(chi)寸硅片的國(guo)(guo)產(chan)化自主品牌(pai)，對提(ti)高(gao)國(guo)(guo)內(nei)集成電路企業(ye)在國(guo)(guo)際(ji)的話語權，提(ti)升國(guo)(guo)內(nei)集成電路產(chan)業(ye)在國(guo)(guo)際(ji)上的地位具有重要的推動和促進(jin)作用。
（二）科技創新方面
有(you)研半導(dao)體(ti)立足自主創(chuang)新，聯合國內力量，利用國際(ji)資源，重點開(kai)展(zhan)硅及硅基材(cai)料技術開(kai)發與創(chuang)新，生產工藝(yi)升級(ji)，提升公司(si)產品競(jing)爭力。
完成了國家(jia)科技重大專項《極大規(gui)模(mo)集(ji)成電路制造裝備(bei)(bei)及(ji)(ji)成套工(gong)藝(yi)(yi)》中“硅(gui)(gui)(gui)材(cai)料設備(bei)(bei)應用工(gong)程”、“200mm硅(gui)(gui)(gui)拋光(guang)(guang)(guang)片(pian)(pian)(pian)產(chan)品(pin)技術開(kai)發(fa)和產(chan)業(ye)化能(neng)(neng)力提升(sheng)”、“90nm/300mm硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)(pian)產(chan)品(pin)競爭力提升(sheng)與產(chan)業(ye)化”的驗收；以(yi)自有12英(ying)寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)(pian)工(gong)藝(yi)(yi)為基礎，牽頭組(zu)織國內多家(jia)半(ban)導(dao)體設備(bei)(bei)廠商(shang)完成了國產(chan)12英(ying)寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶爐(lu)、磨削機(ji)(ji)、多線切割機(ji)(ji)、雙面拋光(guang)(guang)(guang)機(ji)(ji)、單(dan)(dan)(dan)面拋光(guang)(guang)(guang)機(ji)(ji)、退(tui)火爐(lu)的研(yan)(yan)制和驗證，相關設備(bei)(bei)已應用在(zai)實際(ji)生(sheng)產(chan)中；開(kai)展國家(jia)重點研(yan)(yan)發(fa)計劃“超高(gao)純稀有金屬材(cai)料精密制備(bei)(bei)技術”課(ke)題的研(yan)(yan)究，確定大規(gui)格高(gao)純硅(gui)(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶生(sheng)長工(gong)藝(yi)(yi)，研(yan)(yan)發(fa)尺寸(cun)＞φ300mm，純度≥9N 的超純硅(gui)(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶環和多孔電極；開(kai)發(fa)大單(dan)(dan)(dan)晶硅(gui)(gui)(gui)及(ji)(ji)其深(shen)加(jia)工(gong)產(chan)品(pin)、8英(ying)寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)拋光(guang)(guang)(guang)片(pian)(pian)(pian)、區熔硅(gui)(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶及(ji)(ji)拋光(guang)(guang)(guang)片(pian)(pian)(pian)等高(gao)端(duan)產(chan)品(pin)，繼續擴大優(you)勢產(chan)品(pin)生(sheng)產(chan)規(gui)模(mo)，優(you)化產(chan)業(ye)結(jie)構，切實增強市場(chang)競爭能(neng)(neng)力和抗風險(xian)能(neng)(neng)力。
通(tong)過國際合作，加(jia)快了精(jing)密加(jia)工工藝流程的設計及硅部件(jian)精(jing)密加(jia)工研(yan)發平臺的建設，突破了多(duo)項(xiang)關鍵技(ji)術(shu)難題。
（三）經濟及社會效益方面
近年(nian)來，中美(mei)貿易摩擦嚴(yan)重，在復雜艱難的國(guo)際環境下，有(you)研(yan)半(ban)導(dao)體(ti)積極承(cheng)擔央企使命，全力保障國(guo)內集(ji)成(cheng)電路產(chan)業(ye)需(xu)要，并最終實現銷售和盈(ying)利目(mu)標。有(you)研(yan)半(ban)導(dao)體(ti)作為(wei)業(ye)內唯一一家(jia)央企，在行(xing)業(ye)內樹立了(le)標桿(gan)形(xing)象，是半(ban)導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)協會支撐(cheng)分會理事長單位(wei)(wei)，中國(guo)有(you)色(se)金屬(shu)學(xue)會半(ban)導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)學(xue)術委員會掛靠(kao)單位(wei)(wei)，業(ye)內唯一一家(jia)集(ji)國(guo)家(jia)企業(ye)技術中心、國(guo)家(jia)半(ban)導(dao)體(ti)材(cai)料(liao)工程研(yan)究中心、國(guo)家(jia)技術創新示(shi)范企業(ye)為(wei)一身的企業(ye)。公司2016-2018年(nian)連續三年(nian)獲(huo)得中國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)協會評選的“中國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)十(shi)強企業(ye)”。
展望PART 04
當前，我國經濟已(yi)由高(gao)(gao)速增長階段(duan)轉向高(gao)(gao)質量發(fa)展(zhan)階段(duan)。面(mian)(mian)對錯綜復雜的國際環(huan)境，中國集成電路產業(ye)既面(mian)(mian)臨著(zhu)(zhu)千載難(nan)逢的歷史機遇，又面(mian)(mian)臨著(zhu)(zhu)差(cha)距拉大的嚴峻挑戰。
有研半導體作為央(yang)企一(yi)份子，始(shi)終以(yi)“思(si)國之需 解國之憂”為根(gen)本出發(fa)點，時刻牢記國家賦予的歷史(shi)使(shi)命，堅持創(chuang)新驅(qu)動(dong)發(fa)展戰略，扎根(gen)集(ji)成電路用(yong)大尺(chi)寸硅材料領域，潛心研究，為我國集(ji)成電路產業的發(fa)展提供(gong)有力的基礎(chu)支撐(cheng)，爭當新時代創(chuang)新驅(qu)動(dong)發(fa)展的排頭兵。
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