文章來源：中國兵器(qi)工業(ye)集團有限公司 發布時間：2021-03-13
高性能(neng)(neng)耳溫(wen)槍、額溫(wen)槍等非接(jie)觸測溫(wen)工具是當前對大規模(mo)人員(yuan)進行發熱(re)篩(shai)查的主(zhu)(zhu)要工具之一，而(er)其核心部件MEMS紅外(wai)溫(wen)度傳感器(qi)(qi)長期(qi)主(zhu)(zhu)要依(yi)賴(lai)進口(kou)。近日，中國(guo)兵器(qi)(qi)工業(ye)集(ji)團電子院(yuan)華東(dong)光電集(ji)成器(qi)(qi)件研究(jiu)所(suo)通過(guo)技(ji)術攻(gong)關(guan)，已完成傳感器(qi)(qi)芯片各(ge)類單(dan)項試驗，性能(neng)(neng)指標精(jing)度達到(dao)0.1℃，抗干擾能(neng)(neng)力優于目前市(shi)場(chang)主(zhu)(zhu)流(liu)產品。
針對(dui)疫(yi)情防(fang)控(kong)、復工復產(chan)對(dui)高性能(neng)(neng)耳溫(wen)槍(qiang)和(he)額溫(wen)槍(qiang)等(deng)非接觸人(ren)體測溫(wen)工具(ju)MEMS紅外傳感(gan)器(qi)的(de)迫(po)切需求(qiu)以及用戶上百萬(wan)顆的(de)訂貨需求(qiu)，中國兵器(qi)工業集(ji)團所(suo)屬(shu)東(dong)光(guang)電(dian)集(ji)成(cheng)(cheng)器(qi)件研(yan)究所(suo)自1月底緊(jin)急調整產(chan)品(pin)研(yan)制(zhi)計劃，提前(qian)復工復產(chan)，組(zu)(zu)建黨員(yuan)突(tu)擊隊和(he)技術攻(gong)關小組(zu)(zu)，24小時不間斷(duan)輪班開展研(yan)制(zhi)工作，目前(qian)已完成(cheng)(cheng)傳感(gan)器(qi)芯(xin)片(pian)各類單項試(shi)驗(yan)，預計在3月底完成(cheng)(cheng)芯(xin)片(pian)樣(yang)品(pin)研(yan)制(zhi)。同時華東(dong)光(guang)電(dian)集(ji)成(cheng)(cheng)器(qi)件研(yan)究所(suo)還采購全(quan)自動(dong)化組(zu)(zu)封裝關鍵設備、補充芯(xin)片(pian)制(zhi)造的(de)關鍵設備，推(tui)動(dong)傳感(gan)器(qi)芯(xin)片(pian)制(zhi)造、組(zu)(zu)封裝的(de)國產(chan)化，月產(chan)能(neng)(neng)將(jiang)從(cong)目前(qian)的(de)2萬(wan)顆提升到(dao)100萬(wan)顆以上，4月初可大量投放市場。
傳感器芯片封裝現場
作為國家(jia)發(fa)改委MEMS國家(jia)地方聯合工程(cheng)實(shi)驗(yan)室和兵器(qi)工業集(ji)團(tuan)微系統(tong)制造技術(shu)創新中心(xin)，華(hua)東(dong)光電集(ji)成(cheng)器(qi)件研(yan)究所具(ju)有MEMS傳感器(qi)芯片設(she)計(ji)、制造、封裝(zhuang)、測(ce)試等(deng)完整的科研(yan)能力(li)，通(tong)過(guo)技術(shu)創新取得MEMS傳感器(qi)多項技術(shu)成(cheng)果，下一步將開發(fa)相(xiang)關(guan)測(ce)溫(wen)產品，滿足疫情防控、復工復產等(deng)高精度人體測(ce)溫(wen)需(xu)要。
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