文章來源：福建國資委 發布時間：2012-06-28
近日，廈(sha)門(men)鎢(wu)業(ye)(ye)承擔的《高(gao)純六(liu)氟化鎢(wu)及氣(qi)相沉積(ji)鎢(wu)異型(xing)件關鍵(jian)技術合作研發》項目入選(xuan)國(guo)(guo)家科技部2010年度第(di)二批(pi)國(guo)(guo)際(ji)科技合作專(zhuan)項，并獲550萬元(yuan)資金支持。高(gao)純六(liu)氟化鎢(wu)及氣(qi)相沉積(ji)鎢(wu)異型(xing)件在國(guo)(guo)內無(wu)規模(mo)化生(sheng)產，產品長期受制(zhi)于人或高(gao)價進口。廈(sha)鎢(wu)通過國(guo)(guo)際(ji)合作，結合公(gong)司(si)的鎢(wu)生(sheng)產技術和(he)資源(yuan)優勢，集成創新，解(jie)決六(liu)氟化鎢(wu)高(gao)純化難題(ti)，開(kai)發氣(qi)相沉積(ji)制(zhi)備(bei)鎢(wu)異型(xing)件關鍵(jian)技術，并實現關鍵(jian)技術及裝(zhuang)備(bei)的國(guo)(guo)產化。此項目將填補國(guo)(guo)內空白，提(ti)升我(wo)國(guo)(guo)鎢(wu)產品深加工水平，并將進一步完(wan)善廈(sha)鎢(wu)產業(ye)(ye)鏈，提(ti)高(gao)公(gong)司(si)國(guo)(guo)際(ji)競(jing)爭力。