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中色(寧夏)東方集團極大規模集成電路濺射靶材項目技術達到國際先進水平

文章來源:寧(ning)夏國(guo)資委  發布時間:2014-11-20

  近期,中色(se)(寧夏(xia))東方(fang)集(ji)團研發(fa)的《極大規模集(ji)成(cheng)電(dian)路300mm硅片工藝用濺射靶材(cai)研發(fa)與產業(ye)化》項(xiang)目,經中國有色(se)金屬工業(ye)協(xie)會鑒定,整體技術(shu)(shu)達到(dao)國際先進(jin)水(shui)平。該項(xiang)目打破了發(fa)達國家(jia)對集(ji)成(cheng)電(dian)路用高端靶材(cai)的壟(long)斷(duan),建立了我國民(min)族半導體工業(ye)的特色(se)產業(ye)鏈,對推動和(he)發(fa)展我國電(dian)子(zi)信息(xi)及相(xiang)關(guan)產業(ye)的技術(shu)(shu)進(jin)步和(he)產業(ye)安全起到(dao)了重要作用。


 

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