文章(zhang)來源(yuan)：中(zhong)國機械(xie)工業集(ji)團公司(si) 發布時間(jian)：2010-05-15
日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。
作(zuo)為(wei)壓力傳感器的核心部件(jian)，MEMS硅基壓力敏(min)感芯片(pian)是決(jue)定壓力傳感器性能(neng)的關鍵(jian)。該項目建立了(le)國內惟一一條具有自主產權的、采用MEMS工(gong)藝批量生(sheng)產硅基壓力敏(min)感芯片(pian)的生(sheng)產線(xian)，年(nian)產能(neng)為(wei)150萬(wan)(wan)只(zhi)芯片(pian)，并同步完成批產工(gong)藝規范及產品企業標準的制定工(gong)作(zuo)。該產品不僅替代進口，還(huan)配(pei)套量產了(le)多類硅基壓力傳感器，可廣泛用于航空航天(tian)、石油化工(gong)、水電(dian)、冶金制造(zao)、醫藥衛(wei)生(sheng)、食品加工(gong)及城市給(gei)排水等領域，取(qu)得了(le)良好的經(jing)濟效益(yi)和(he)社(she)會效益(yi)，累計新增產值3500多萬(wan)(wan)元。