文(wen)章來源(yuan)：中國機械工業集(ji)團公司(si) 發布(bu)時間：2010-05-15
日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。
作(zuo)為(wei)壓(ya)力傳感(gan)(gan)器的(de)核心部(bu)件，MEMS硅基(ji)壓(ya)力敏感(gan)(gan)芯片(pian)是決定(ding)壓(ya)力傳感(gan)(gan)器性(xing)能的(de)關(guan)鍵。該項目建立了國內惟(wei)一一條具有(you)自主產(chan)(chan)權的(de)、采用MEMS工(gong)(gong)藝(yi)批(pi)量生(sheng)產(chan)(chan)硅基(ji)壓(ya)力敏感(gan)(gan)芯片(pian)的(de)生(sheng)產(chan)(chan)線(xian)，年產(chan)(chan)能為(wei)150萬只芯片(pian)，并同步完(wan)成批(pi)產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝(yi)規范及產(chan)(chan)品企業標準的(de)制定(ding)工(gong)(gong)作(zuo)。該產(chan)(chan)品不僅替代進口，還(huan)配套(tao)量產(chan)(chan)了多(duo)類硅基(ji)壓(ya)力傳感(gan)(gan)器，可廣泛用于航空航天、石油化工(gong)(gong)、水(shui)電(dian)、冶金制造、醫藥衛生(sheng)、食品加工(gong)(gong)及城市(shi)給排水(shui)等領域，取得了良好的(de)經濟效益和社會效益，累計新增產(chan)(chan)值3500多(duo)萬元(yuan)。