文(wen)章來源(yuan)：中國冶(ye)金科工集團有限公司 發布(bu)時間：2012-12-08
12月4日，中國中冶所屬中國五冶集團有限公司承建的國內首條第5.5代低溫多晶硅TFT-LCD生產線廈門天馬微電子一標段M1主廠房工程中高大模板支撐架搭設已通過驗收。目前，近3萬立方米的華夫板混凝土陸續開始澆筑，標志著該項高級別潔凈制造廠房工程進入首戰關鍵期。
該項目位于廈門市火炬高新技術產業開發區，是國內第一條也是全球第二條第5.5代低溫多晶硅薄膜晶體管晶體管液晶顯示器生產線。該項目廠房為高級別潔凈制造廠房，其最高潔凈度要求達到100級。潔凈技術為一門新興技術，在科學實驗和工業生產活動中，產品加工的精密化及微型化要求具有一個受控塵埃粒子污染的生產環境——潔凈室。
據了(le)解，在該工(gong)(gong)(gong)程的(de)(de)(de)主體結構(gou)中，二樓(lou)潔凈室是(shi)其最主要的(de)(de)(de)部分，將采用華(hua)夫(fu)樓(lou)板(ban)(ban)(ban)，對結構(gou)采取減(jian)震及回風的(de)(de)(de)作用以(yi)保證精密(mi)生(sheng)產線的(de)(de)(de)加工(gong)(gong)(gong)。華(hua)夫(fu)模(mo)(mo)(mo)板(ban)(ban)(ban)是(shi)一種新型復合(he)材(cai)料(liao)，是(shi)保證潔凈度的(de)(de)(de)前提。華(hua)夫(fu)樓(lou)板(ban)(ban)(ban)施(shi)工(gong)(gong)(gong)技術(shu)要求高(gao)，而該工(gong)(gong)(gong)程的(de)(de)(de)華(hua)夫(fu)樓(lou)板(ban)(ban)(ban)施(shi)工(gong)(gong)(gong)面(mian)積達51000平方(fang)米，如此大面(mian)積的(de)(de)(de)微電子工(gong)(gong)(gong)程華(hua)夫(fu)樓(lou)板(ban)(ban)(ban)施(shi)工(gong)(gong)(gong)在國內尚沒(mei)有廣泛(fan)的(de)(de)(de)施(shi)工(gong)(gong)(gong)經驗可借鑒。中國五(wu)冶集團(tuan)廈(sha)門(men)天馬項目(mu)部在通過實踐探索模(mo)(mo)(mo)板(ban)(ban)(ban)排(pai)版、支(zhi)撐架(jia)(jia)搭設及模(mo)(mo)(mo)板(ban)(ban)(ban)安裝(zhuang)、華(hua)夫(fu)板(ban)(ban)(ban)模(mo)(mo)(mo)板(ban)(ban)(ban)安裝(zhuang)、密(mi)肋(lei)梁鋼筋(jin)綁扎、混凝土澆筑、支(zhi)撐架(jia)(jia)及模(mo)(mo)(mo)板(ban)(ban)(ban)拆除(chu)、華(hua)夫(fu)板(ban)(ban)(ban)清潔等工(gong)(gong)(gong)序，總結該課題(ti)的(de)(de)(de)施(shi)工(gong)(gong)(gong)工(gong)(gong)(gong)藝方(fang)法(fa)，嚴把(ba)施(shi)工(gong)(gong)(gong)質量(liang)關，保證項目(mu)順利推進(jin)。