文章來源(yuan)：中(zhong)國(guo)電子科技集團公(gong)司 發布時間：2014-08-30
近日，由中國電子科技集團48所、2所、55所共同申請的國家科技部“863”前沿技術項目已獲批，該項目的主要目的是為高壓碳化硅電力電子器件的制造提供關鍵設備和工藝，其中包括4-6寸碳化硅單晶生長爐、碳化硅外延生長爐和碳化硅高溫高能離子注入機的研發。
當前(qian)正(zheng)值我(wo)國(guo)大力(li)開展科(ke)技創新(xin)推動產業(ye)轉型升級的(de)(de)新(xin)時期(qi)，碳(tan)化硅制(zhi)造(zao)設備已被(bei)列入(ru)國(guo)家《新(xin)材(cai)(cai)料產業(ye)“十(shi)二五”發展規(gui)(gui)劃(hua)》重點(dian)產品目錄，碳(tan)化硅材(cai)(cai)料和器件的(de)(de)科(ke)研也已納入(ru)電(dian)力(li)電(dian)子行業(ye)“十(shi)二五”規(gui)(gui)劃(hua)。項目獲批，對中(zhong)國(guo)電(dian)科(ke)搶(qiang)占SiC裝備市場的(de)(de)先(xian)機奠(dian)定(ding)了堅實基礎。