文章來源(yuan)：中國機械工業集團(tuan)公(gong)司 發布時間：2010-07-27
中國(guo)機械工業(ye)(ye)集團公司(si)所屬(shu)沈(shen)陽儀(yi)表(biao)院(yuan)(yuan)“高性能硅(gui)電(dian)(dian)容(rong)(rong)差壓傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)”項(xiang)目日前順利通過驗收。該項(xiang)目是沈(shen)陽儀(yi)表(biao)院(yuan)(yuan)承擔的(de)2007年度企(qi)業(ye)(ye)技(ji)術創(chuang)新(xin)(xin)計(ji)劃(hua)項(xiang)目。該項(xiang)目開發了一種(zhong)適用(yong)于智能工業(ye)(ye)變送器(qi)(qi)(qi)用(yong)硅(gui)電(dian)(dian)容(rong)(rong)差壓傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)設計(ji)和工藝(yi)技(ji)術，在硅(gui)電(dian)(dian)容(rong)(rong)核心結構設計(ji)、電(dian)(dian)容(rong)(rong)封裝(zhuang)工藝(yi)及傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)封裝(zhuang)結構方面有(you)創(chuang)新(xin)(xin)，有(you)效地解決了硅(gui)電(dian)(dian)容(rong)(rong)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)研制的(de)工藝(yi)裝(zhuang)備難題。該項(xiang)目完成后，將(jiang)實現年產(chan)10萬只(zhi)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)芯片，1.5萬臺傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)生(sheng)產(chan)能力，年產(chan)值達1000萬元，產(chan)品可(ke)廣泛應(ying)用(yong)于航空(kong)、航天(tian)、石油化(hua)工、能源電(dian)(dian)力、冶金、機械、電(dian)(dian)子、環保等各個(ge)領域。