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航天科技九院771所成功研制抗輻射VDMOS產品

文章來(lai)源:中國航天科技集團公(gong)司  發布(bu)時間:2018-04-12

2016年,航天科技集(ji)團九(jiu)院771所新集(ji)成電(dian)路事(shi)業部(bu)全年收入超2億元,其中VDMOS(半導體(ti)場(chang)效應(ying)晶體(ti)管(guan))單項產品(pin)收入達(da)8400多萬元,同比增長133%。

減虧目標(biao) 從產業化開始

771所新集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)生產(chan)線投產(chan)以來,在專項集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)研制、開發和生產(chan)方面(mian)(mian)取得了許(xu)多成(cheng)績,但由于(yu)專項產(chan)品在種類、數量等諸多方面(mian)(mian)的(de)限制,該條生產(chan)線并沒有發揮出最(zui)佳效益,投入(ru)與產(chan)出不匹配,連(lian)年虧損(sun)。

面對(dui)困(kun)難和(he)窘境,該所開(kai)始嘗試用(yong)這條生產(chan)線(xian)開(kai)發(fa)軍民兩用(yong)且市場銷(xiao)量大(da)的產(chan)品,將優勢產(chan)品做大(da),實(shi)現產(chan)業化(hua)規模效應(ying),提升經濟效益。

經過認真分析,所領導決定將(jiang)(jiang)VDMOS作為(wei)壯大產業的主(zhu)打產品,達(da)到(dao)提質增(zeng)效、減少(shao)虧損的目標(biao)。VD?MOS 產品兼(jian)有雙極晶體管和普通MOS器(qi)件的優點,在功率器(qi)件市場中(zhong)的份額占(zhan)比達(da)到(dao)45%。該所加大力度,重點將(jiang)(jiang)VDMOS產品產業化。

模(mo)式創新 嘗試(shi)有限(xian)產業(ye)鏈

過去,由(you)于對(dui)新集成(cheng)電路生產線采用了(le)當(dang)時比較流行的純工藝代工模(mo)式,所(suo)里沒有(you)自己(ji)的主打產品,沒有(you)自己(ji)的研發(fa)核心,規模(mo)有(you)限(xian),經濟效益受到影響。

為(wei)了(le)在經營模式(shi)(shi)上支持(chi)新(xin)集成電(dian)路生產線的(de)發展(zhan),771所(suo)決定對(dui)該事(shi)業(ye)部(bu)(bu)生產體系進行模式(shi)(shi)創新(xin),實(shi)施(shi)有限產業(ye)鏈模式(shi)(shi),成立(li)專項產品設計組,使(shi)該事(shi)業(ye)部(bu)(bu)由(you)代工(gong)的(de)垂(chui)直(zhi)分工(gong)模式(shi)(shi)向有限產業(ye)鏈模式(shi)(shi)轉化。

這一(yi)模(mo)式與目(mu)前(qian)集成電路(lu)業(ye)界(jie)的(de)發(fa)展模(mo)式不同(tong),但加(jia)強了(le)(le)設計(ji)工程師與工藝工程師的(de)結合(he),促進了(le)(le)工藝與生產的(de)融合(he),提高了(le)(le)產品的(de)成品率(lv),為(wei)VDMOS產業(ye)化奠定(ding)了(le)(le)基礎。

攻占高(gao)端(duan) 爭取彎道(dao)超車

隨著(zhu)國家經(jing)濟(ji)發展步入新(xin)常態,集成電(dian)路行業遇(yu)到(dao)了許多新(xin)問題。在(zai)民用(yong)市(shi)場上,雖然 VDMOS 產(chan)品(pin)用(yong)途(tu)廣、市(shi)場占有量大(da),但(dan)競爭激烈,且(qie)產(chan)品(pin)附加值低。

不(bu)過,在專項高(gao)端(duan)市場上,情況大(da)不(bu)一樣,國(guo)家(jia)大(da)力(li)支持(chi)研(yan)制自主可控的國(guo)產高(gao)端(duan)元(yuan)器件。而771所是國(guo)家(jia)唯一的計算機、集成(cheng)電路(lu)和混合集成(cheng)電路(lu)等(deng)科研(yan)生產為一體的研(yan)究所,特(te)別是在集成(cheng)電路(lu)抗(kang)輻照工藝(yi)領(ling)域(yu)有(you)自己獨特(te)的優勢和特(te)長。這些成(cheng)為771 所VDMOS 產品進入高(gao)端(duan)領(ling)域(yu)的條件。

要(yao)實(shi)現(xian)(xian)VDMOS 產品(pin)的最大(da)效益,走(zou)高端產品(pin)路線是實(shi)現(xian)(xian)彎道(dao)超車的最佳思路。于是,該所事業部經過反(fan)復(fu)研討,決心在抗(kang)輻(fu)射VDMOS 產品(pin)上下大(da)功夫。

產品突破 把工藝作為重點

在集成電路(lu)產(chan)品的(de)(de)生產(chan)上,工(gong)藝非常(chang)重要,工(gong)藝條件(jian)限(xian)定了產(chan)品的(de)(de)開發,影響著產(chan)品的(de)(de)成品率,因此,抗輻(fu)射VDMOS產(chan)品成功(gong)與(yu)否的(de)(de)關(guan)鍵(jian)在工(gong)藝。抓工(gong)藝紀律,提高(gao)工(gong)藝技(ji)術,也就(jiu)成了最實(shi)際(ji)的(de)(de)工(gong)作(zuo)。

為(wei)此,771所強(qiang)化技(ji)術狀態管(guan)理,該事(shi)業部由(you)代工(gong)(gong)的狀態管(guan)理模式逐(zhu)漸向全(quan)壽命周期質量(liang)管(guan)控(kong)模式轉型,履行產(chan)品質量(liang)保證(zheng)的主體(ti)責任,提(ti)升了工(gong)(gong)藝流程文件管(guan)控(kong)等(deng)級。

該所(suo)還(huan)重點(dian)針對(dui)VDMOS工藝(yi)平(ping)臺關鍵工序加強技術管控,完成了管控措(cuo)施的(de)落實,每月對(dui)生產(chan)線約340個工序點(dian)進(jin)行工藝(yi)穩(wen)定性(xing)監控,月平(ping)均達標率保持在99%,提升了產(chan)品的(de)穩(wen)定生產(chan)能力(li)。

在(zai)研(yan)制(zhi)中,771所創新性提出了抗(kang)輻(fu)射(she)加固(gu)器件結構(gou)設計技術和特殊制(zhi)造工(gong)藝(yi),使工(gong)藝(yi)技術再上(shang)一個新臺(tai)階。工(gong)藝(yi)技術的進步,形成了全產業(ye)鏈的抗(kang)輻(fu)射(she)VDMOS 產品(pin)平臺(tai),產品(pin)在(zai)質量、產量上(shang)也(ye)取(qu)得了重大突破。

經過(guo)努力,771所2016年完成了(le)44款VDMOS 產(chan)品(pin)的開(kai)發。目前,這些產(chan)品(pin)大部分已通過(guo)鑒定(ding)定(ding)型(xing),實現批產(chan),用于多(duo)種型(xing)號任務,創造了(le)可觀的效(xiao)益(yi)。2017年以來,該所與多(duo)家單位簽訂了(le)VDMOS 供貨合同(tong),以期(qi)實現更(geng)高的經濟效(xiao)益(yi)和社(she)會效(xiao)益(yi)。

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