文章(zhang)來源：中國建筑材料(liao)集團公司 發(fa)布(bu)時間：2017-06-16
近日，中(zhong)國建材集團所屬中(zhong)國建材總院基(ji)(ji)于光刻用石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基(ji)(ji)板綠(lv)色制造技(ji)術，在衢州建成了國內首(shou)條從基(ji)(ji)板原材料制造到(dao)產品加工的(de)成套生(sheng)產線(xian)。該生(sheng)產線(xian)可年產20000片4-6英(ying)寸石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基(ji)(ji)板，打破了石(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基(ji)(ji)板原材料及產品長期依賴進口的(de)局面。
該生產線的(de)建立，是中(zhong)國(guo)建材總院承擔(dan)的(de)“十二五(wu)”國(guo)家科技(ji)支撐計劃“高(gao)性能石(shi)英(ying)玻璃(li)(li)、微晶玻璃(li)(li)等特種材料(liao)關鍵技(ji)術研(yan)發及示范”課題的(de)成果之一。石(shi)英(ying)玻璃(li)(li)基板是集成電路芯片(pian)制造(zao)工藝中(zhong)的(de)核(he)心器(qi)件(jian)，市場需求量巨(ju)大。作為石(shi)英(ying)玻璃(li)(li)基板的(de)原材料(liao)，合成石(shi)英(ying)玻璃(li)(li)具有(you)熱穩定性好、光學均勻(yun)性高(gao)、耐輻照(zhao)等諸多優點。然而(er)，受(shou)原材料(liao)純度、均勻(yun)性及加工精(jing)度、硬脆特性等制約，我國(guo)石(shi)英(ying)玻璃(li)(li)基板長期依賴(lai)進口。
經過中國建(jian)材(cai)總(zong)院科(ke)研(yan)人員的(de)不懈努(nu)力(li)，最終(zhong)形成(cheng)了一套符合我國行(xing)業現狀與(yu)發(fa)展(zhan)趨(qu)勢(shi)的(de)獨有工藝路(lu)線，不但(dan)解決(jue)了石(shi)(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基板原(yuan)材(cai)料的(de)純度、均勻(yun)性難題，同時實現了原(yuan)材(cai)料綠(lv)色制造。該(gai)項目還引入多(duo)刀切割、安全(quan)快速磨拋工藝，創(chuang)造性地開發(fa)了熔拉制坯(pi)、數控倒角等(deng)技(ji)術，解決(jue)了石(shi)(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基板加工精度的(de)難題。從(cong)基板原(yuan)材(cai)料制造到產品(pin)加工，中國建(jian)材(cai)總(zong)院形成(cheng)專利20余項，行(xing)業標(biao)準、國軍標(biao)及(ji)國家標(biao)準10余項，開發(fa)出了多(duo)種規格(ge)的(de)石(shi)(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃基板、晶圓、透鏡等(deng)系列產品(pin)，不僅逐步替代進口產品(pin)，實現了高性能石(shi)(shi)英(ying)玻(bo)(bo)璃關鍵材(cai)料及(ji)制品(pin)的(de)國產化(hua)，而且還出口到歐洲、日本等(deng)國。