文章(zhang)來源(yuan)：中(zhong)國電(dian)子科技集團有限(xian)公司(si) 發布時間：2022-03-22
3月17日，從(cong)中國(guo)(guo)電(dian)科(ke)獲悉，中國(guo)(guo)電(dian)科(ke)旗下裝備子集團日前已成功實現(xian)離(li)子注入(ru)機(ji)全譜(pu)系(xi)產品國(guo)(guo)產化(hua)，可為全球芯(xin)片制造企業提供離(li)子注入(ru)機(ji)一站式解(jie)決方案(an)。
據悉，裝備子(zi)集團連續突破高(gao)性(xing)能(neng)離(li)子(zi)源(yuan)、高(gao)速晶圓傳輸(shu)等“卡脖子(zi)”技術，自主(zhu)研(yan)制(zhi)中(zhong)束流、大束流、高(gao)能(neng)、特種應用及第三代半導體等離(li)子(zi)注入機，工藝段覆(fu)蓋至28nm，累計形成核(he)心發明專利413項，為我(wo)國(guo)芯(xin)(xin)片制(zhi)造產業(ye)鏈(lian)補上重要一環，實現我(wo)國(guo)芯(xin)(xin)片制(zhi)造領域全譜系離(li)子(zi)注入機自主(zhu)創新發展，有(you)效緩解(jie)我(wo)國(guo)芯(xin)(xin)片制(zhi)造領域斷鏈(lian)、短鏈(lian)難(nan)題。
【責任編輯：趙藝涵】